i. 波長色散型XRF(WDS)：利用晶體的衍射效應，將X射線按照波長(或能量)分散成不同的譜線;當樣品被X射線激發后，發射出特征X射線，通過分光晶體將不同波長的X射線分開，然后由探測器接收特定波長的X射線，從而實現元素的分析。分辨率高、靈敏度好、穩定性好;分析速度較慢，操作相對復雜，設備成本較高。

　　ii. 能量色散型XRF(EDS)：利用探測器將接收到的X射線按照能量轉換成電信號，通過電子學電路放大和處理，得到元素的特征譜線;與WDS不同，EDS不需要分光晶體，可以直接分析樣品中所有元素。分析速度快，操作簡便，設備成本較低;分辨率相對較低，受環境因素影響較大。